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  • 嘉興科民電子設備技術有限公司

    科民 · 應用案例

    原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

    熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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    科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺
    助力北大
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    北京大學成功制備性能優越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關鍵的HfO2高k柵介質低溫制備方案
    熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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    科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺

    科民 · 產品中心

    原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

     刻蝕機ICP-100
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    刻蝕機ICP-100
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     刻蝕機RIE-100
    刻蝕機RIE-100
    刻蝕機RIE-100
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     磁控濺射臺-PVD-100
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     雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
    雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
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     365nmLED光源曝光機
    365nmLED光源曝光機
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     超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
    超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
    超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
    生產型原子層沉積系統

    走進科民

    海外微電子設備制造團隊與  中科院微電子所  8室專家共同成立

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