嘉興科民電子設備技術有限公司

科民 · 應用案例

原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺
助力北大
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北京大學成功制備性能優越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關鍵的HfO2高k柵介質低溫制備方案
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原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

 刻蝕機ICP-100
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 刻蝕機RIE-100
刻蝕機RIE-100
刻蝕機RIE-100
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 磁控濺射臺-PVD-100
磁控濺射臺-PVD-100
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 雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
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 365nmLED光源曝光機
365nmLED光源曝光機
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 超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
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生產型原子層沉積系統

走進科民

海外微電子設備制造團隊與  中科院微電子所  8室專家共同成立

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原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

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