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助力中科院上海技物所、武漢大學
中國科學院上海技術物理研究所、武漢大學研究人員在Advanced Functional Materials上發表的關于浮柵結構二維材料光電探測器研究方面取得的進展文章節選。我們研發的TALD-200A型原子層沉積系統在該器件中完成了隧穿和阻隔氧化物的工作，成功助力該光電探測器的研發工作。（文章內的光電探測器的具有很低的背景載流子強度）
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