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科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD
- 分類：公司新聞
- 發布時間：2022-04-02
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【概要描述】嘉興科民電子推出固態ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明，固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。
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科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD
【概要描述】嘉興科民電子推出固態ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明，固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。
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- 發布時間：2022-04-02
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科民電子推出新一代ALD設備-固態源ALD
嘉興科民電子推出固態ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態源難出源的難題。實驗數據表明，固態ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優異。
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